檢索結果：共46筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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本研究是利用磁濺鍍方式將單層鉭(Tantalum)薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢，隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑，進而計算薄膜應力值；奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏…
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採用鋁、氮共掺雜的氧化鋅已被證實為製備p型氧化鋅中一種有效的方法使用。本實驗使用溶膠-凝膠法於藍寶石（0 0 0 1）基板上製備不同濃度鋁掺雜氧化鋅薄膜，並且於氨氣氣氛下退火以獲得鋁掺雜之含氮氧化鋅…
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近年可撓式以及透明之感測元件應用越來越廣，因此，本研究以透明導電薄膜AZO，搭配PVDF鐵電高分子披覆之PET可撓式基板，製作可撓式透明感測元件，並研究其鐵電、壓電、介電及可見光穿透性。 本…
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由於鐵電薄膜多為氧化物，且製程溫度都是在高溫，因此大多搭配使用抗高溫氧化之電極材料作為電極。貴金屬Pt是常使用之材料，然而Pt電極的價格偏高，若能使用較便宜的金屬電極來代替，又能維持導電性，進一步又…
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本研究建立以氬電漿餘輝態進行矽薄膜沉積之反應機制並進行二維沉積反應之穩態數值模擬，以計算低壓腔體內部矽薄膜成長速率。本研究共考慮17個重要物種，包含電子、質子、自由基氣體、中性氣體等，除求解流場之連…
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半導體元件是由數層不同的厚度且材質互異的薄膜所構成，鎢薄膜做為柱塞(Plug)的用途，化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是半導體製程中全面平坦化(G…
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膽管腫瘤所引起的嚴重問題之一為膽道阻塞。目前膽道阻塞的主要治療方式之一為膽道支架的置入。然而膽道支架在置入後六至八個月則可能再發生阻塞現象。有鑑於此，本研究探討利用可降解多層覆膜改善此問題的可能性。…
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表面工程的延新促進了高熵材料的使用，因為它們具有卓越的品質，包括良好的耐腐蝕性、高硬度、抗氧化性和改善的熱穩定性；然而，塗層的性能與製程條件息息相關，為了更好地了解高熵合金 (HEA) 的生長機制和…
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本研究分為兩個部分，第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍，並於製程中控制不同氮氣通量，以製備不同氮含量之高熵合金薄膜；在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍，並改…
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力，但硬度略低於其他硬膜，實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…